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采用柠檬酸溶胶-凝胶法（Pechini工艺）制备了钇钡铜氧（YBCO）溶胶,在SiO2/Si（110）衬底上生长了非晶YBCO薄膜。通过差热-热重分析得到了非晶YBCO薄膜的热处理条件。讨论了pH值对薄膜元素配比和表面形貌的影响,研究了薄膜结晶状态与退火温度之间的关系,获得了较为理想的薄膜制备工艺参数。