【摘 要】
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研究了ZSM-5分子筛膜对神经类毒剂沙林的相似物甲基磷酸二甲脂的敏感特性,并结合高灵敏的石英谐振微天平(QCM)研制了甲基磷酸二甲脂气体传感器.测试甲基磷酸二甲脂气体的体积
【机 构】
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专用集成电路与系统国家重点实验室,专用集成电路与系统国家重点实验室,复旦大学
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研究了ZSM-5分子筛膜对神经类毒剂沙林的相似物甲基磷酸二甲脂的敏感特性,并结合高灵敏的石英谐振微天平(QCM)研制了甲基磷酸二甲脂气体传感器.测试甲基磷酸二甲脂气体的体积分数分别为10-6,5×10-6,20×10-6的气体.研究表明:基于ZSM-5纳米分子筛膜的传感器的检测灵敏度高,对气体体积分数为10-6甲基磷酸二甲脂气体的检测灵敏度为60Hz/10-6,比半致死浓时积低;传感器的响应与脱附时间较快,对气体体积分数为10-6甲基磷酸二甲脂气体的响应与脱附时间均为100s;对同体积
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