0.1μm 激光尘埃粒子计数器中点光源大立体角反射成像弥散斑及其处理

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本文详细分析了一股凹面镜对点光源大立体角反射成像弥散斑二维分布的计算方法,进而设计了我国首台0.1μm激光尘埃粒子计数器光学传感器的矩形光敏区共轭成像空间滤波器。应用该滤波器后光学传感器的信噪比得到了显著提高。 In this paper, the calculation method of the two-dimensional distribution of the speckle of large cube corner reflex image by a concave mirror to a point light source is analyzed in detail, and then the rectangular photosensitive area conjugate imaging spatial filter of the first 0.1μm laser particle counter optical sensor in our country is designed . The signal-to-noise ratio of the optical sensor has been significantly improved after the filter is applied.
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