基于有限元分析QCM电极尺寸的优化设计

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 7次 | 上传用户：levelsetsharon

【摘要】

：

提出了一种优化石英晶体微天平(Quartz Crystal Microbalance ,简称QCM)结构、抑制寄生振动模的设计方法.用Ansys9 .0有限元软件直接对QCM进行三维有限元分析,从而避免了一般解析和半解析中对控制方程的简化.首先通过对QCM谐振频率收敛性的分析,验证了有限元计算的正确性;然后分析了不同电极尺寸对QCM振动及能陷情况的影响,并找到了较佳的电极尺寸;最后针对不同电极尺寸

【作者】

：

蒋海峰张培仁

【机构】

：

中国科学技术大学自动化系

【出处】

：

传感技术学报

【发表日期】

：

2007年10期

【关键词】

：

QCM 振动模有限元能陷 QCM vibration mode finite element energy trapping

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