【摘 要】
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论述了精密加工和超精密加工技术的范畴、加工方法、系统结构及其在先进制造技术中的作用和地位;分析了21世纪初期对它的需求和技术发展趋势,并提出了相应的技术发展前沿,归总了
【机 构】
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清华大学!北京市; 100084;
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论述了精密加工和超精密加工技术的范畴、加工方法、系统结构及其在先进制造技术中的作用和地位;分析了21世纪初期对它的需求和技术发展趋势,并提出了相应的技术发展前沿,归总了技术发展特点。
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