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研制了一种工作在１５５０ｎｍ波长范围内的单模光纤微机械可调式光衰减器。该衰减器利用非硅表面微加工工艺（这种工艺采用光至抗蚀剂和溅射铜薄膜作为牺牲层，电镀铁镍层作为结构层来制作（ＭＥＭＳ元件）制作，由电镀铁镍层构成的一个插在两对准光纤空隙中的挡光片，一个平面电感线圈。一个硅弹簧和二个带有Ｖ型槽的光纤对准元件构成。电镀铁镍制作的挡光片被固定在一个硅弹簧上，该挡光片采用非硅表面微加工工艺制作。平面电感线