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期刊论文
BeO瓷的金属化和封接
BeO瓷的金属化和封接
来源 :真空电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wangle2
【摘 要】
:
综述了氧化铍瓷的金属化及其封接技术,指出氧化铍瓷和Al2O3瓷在金属化工艺上的差异,论文最后汇集了国内外常用烧结金属粉末法15种配方和工艺参数,以资同行专家参考.
【作 者】
:
高陇桥
【机 构】
:
北京真空电子技术研究所
【出 处】
:
真空电子技术
【发表日期】
:
2005年4期
【关键词】
:
氧化铍瓷
陶瓷金属化
物理气相沉积
活化钼-锰法
Beryllia ceramics Ceramic metallization Physical vapor
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综述了氧化铍瓷的金属化及其封接技术,指出氧化铍瓷和Al2O3瓷在金属化工艺上的差异,论文最后汇集了国内外常用烧结金属粉末法15种配方和工艺参数,以资同行专家参考.
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