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目的为提高TC4钛合金的抗微动磨损性能,对比研究类金刚石薄膜(DLC)和TC4钛合金在干摩擦条件下的微动磨损行为,揭示DLC薄膜抗微动磨损的机理。方法在TC4钛合金基体上利用非平衡磁控溅射技术制备DLC薄膜。利用原子力显微镜、拉曼光谱和纳米压痕仪分析薄膜的表面形貌、物相组成以及纳米硬度。利用球/平面接触形式SRV-V微动摩擦磨损试验机研究DLC薄膜和TC4钛合金的微动摩擦磨损性能。采用激光共聚焦显微镜和自带能谱分析仪的场发射扫描电镜分析材料的磨痕情况。通过Ft-D-N曲线、三维轮廓、磨损形貌及磨痕化学成分