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由于金刚石具有室温下最高的热导率,因此用化学气相沉积(CVD)制备的金刚石膜是大功率发光二极管理想的散热材料。利用微波等离子体CVD研究了不同沉积工艺下金刚石薄膜的生长。用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱对得到的金刚石薄膜进行了表征,并将金刚石薄膜用作LED散热片的散热效果进行了检测。结果表明:CVD金刚石薄膜可以有效降低LED的工作温度;在相同的制备成本下,提高薄膜的厚度比提高薄膜的纯度更有利于提高LED的散热效果。