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对相同的衬底进行不同的处理后,放入微薄等离子体腔中,在不同的条件下制备出纯平金刚石碳膜和球状金刚石聚晶颗粒碳膜。通过扫描电镜、拉曼光谱、X射线分析碳膜的形貌与结构,利用场发射二级结构研究两种金刚石碳膜的场发射性能。简单分析了不同碳膜的成因和场发射性能。
两种金刚石碳膜的制备及其场发射特性研究
【摘 要】
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对相同的衬底进行不同的处理后,放入微薄等离子体腔中,在不同的条件下制备出纯平金刚石碳膜和球状金刚石聚晶颗粒碳膜。通过扫描电镜、拉曼光谱、X射线分析碳膜的形貌与结构,
【机 构】
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郑州师范学院物理与电子工程学院,郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室
【出 处】
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电子器件
【发表日期】
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2020年4期
【基金项目】
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教育部科学技术重点项目(205091),2018年河南省科技厅科技攻关项目(182102210140),2018年河南省重点研发与推广专项项目(182102210564),2017年度河南省科技计划项目(172102210115)
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