【摘 要】
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以永磁同步直线电动机直接驱动工作台作为研究对象,其滚柱导轨机械接触摩擦力使工作台位置伺服系统表现出粘滑特性,分析了摩擦力对系统性能的影响。辨识了该位置伺服系统的力
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以永磁同步直线电动机直接驱动工作台作为研究对象,其滚柱导轨机械接触摩擦力使工作台位置伺服系统表现出粘滑特性,分析了摩擦力对系统性能的影响。辨识了该位置伺服系统的力常数（13.37 N/A）和机械时间常数（128 ms）。基于该系统的模型和辨识参数,采用极点配置法设计了I-PD控制器,闭环极点为-2π×20时,可以有效地抑制粘滑,其定位误差可以达到光栅传感器的分辨率0.5μm。
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