【摘 要】
：
对氢氧合成栅氧化后注F的MOSFET进行了γ射线辐照试验,分析了不同注F剂量的MOSFET电离辐射响应特性。结果表明,在1×10~(15)～1×10~(16)F/cm~2F注量范围内,注F能够明
【机 构】
：
中国科学院新疆物理研究所,骊山微电子公司
论文部分内容阅读
对氢氧合成栅氧化后注F的MOSFET进行了γ射线辐照试验,分析了不同注F剂量的MOSFET电离辐射响应特性。结果表明,在1×10~(15)～1×10~(16)F/cm~2F注量范围内,注F能够明显抑制辐射感生氧化物电荷和界面态的增长,且F注量越高,抑制能力越强,F的注入能减少工艺过程所带来的氧化物电荷和界面态。用Si一F结键替代其它在辐射过程中易成为电荷陷阱的应力键模型对实验结果进行了讨论。可以预测,F在Si/SiO_2界面附近和SiO_2中的行为直接与MOS结构的辐射响应相对应,而F
其他文献
用高精度主轴和改进的六角刀架，在全自动车床上采用车削加工的方法代替磨削，其精度可达μm级，1次装夹就可完成整套加工。
一位富翁在电视上播出了一则广告：任何人只要证明自己对生命真正满足了，就可以得到100万美元的奖金。
人生在世，最难做好的是做人，最应该做好的也是做人。 当你以一声啼哭向这个世界报到，你便开始做人了。从此，你的一切活动，一切行为，一切思维，一切社会交往，概括起来，就叫做人。从生到死，生命的分分秒秒，都是在做人。 做人难，难做人。朝朝代代，多少人曾发出过这样的感叹！ 从猿过渡到人后，我们的祖先就开始了这一课题：做人。朝朝代代，一代一代的人结束了他们的生命，一代一代人也总结了他们做人的经验。
近年来,随着社会经济的不断发展,电力企业取得了前所未有的成绩。企业物资招标履约管理本质上是对物资合同的管理,管理水平的高低直接决定着企业物资的采购质量、效果以及采
Zebra Technologies Corporation最近为其QL Plus系列和RW系列移动打印机提供了高级的802．11g无线LAN（WLAN）选项。Zebra最近推出的802．11g无线模块拥有内置802．11i和WPA2（WiFi Prot
研制了一种应用漂洗发射极晶体管和U型槽隔离技术的改进型肖特基晶体管逻辑电路(MSTL),它不仅具有标准STL高速度和ISL工艺简化的优点,与采用多晶硅发射极晶体管和氧化隔离技
<正>本工作是为单片单刀双掷开关电路的需要而专门开设的专题研究。 空气桥玻璃芯片电感是一种制作在玻璃介质衬底上的螺旋形三维电感。它是平面螺旋电感的发展,即电感螺旋线
经济的快速发展带动企业的快速进步,国有企业因其公有制性质的制约,政工工作仍处于一个重要的位置,政工工作和业务工作在一个较为复杂的动态平衡之中向前发展,如何打造专业化
研究了直拉头尾料P型硅单晶片在360～1 300℃范围热处理前后氧碳含量、电阻率和少子扩散长度的变化规律及其对所制成太阳电池性能的影响。已证实在最佳的热处理条件下样品含氧
用电子束蒸发MoNb的方法,制备了MoNb/SiO_2接触界面。用俄歇电子能谱(AES)测定该界面热处理前后各元素组分随深度的分布。从AES分析中发现:随着热处理温度的上升,MoNb/SiO_2