【摘 要】
：
分析了在ECR-MOCVD装置上外延生长GaN单晶薄膜的工艺过程特点和在此过程中影响GaN结晶质量的主要因素.在此基础上,设计了一套由80C31单片机为核心的光电隔离电路和PC机组成的
论文部分内容阅读
分析了在ECR-MOCVD装置上外延生长GaN单晶薄膜的工艺过程特点和在此过程中影响GaN结晶质量的主要因素.在此基础上,设计了一套由80C31单片机为核心的光电隔离电路和PC机组成的两级系统,用于GaN薄膜外延生长的工艺流程监控.并提出了一种合适的工艺流程监控策略,阐述了如何从软件上确保工艺流程的连续可靠运行.实践证明,软硬件系统设计合理、抗干扰措施完善,很好地保证了工艺流程的连续可靠运行,实验数据的可靠性和工艺流程的可重复性也大大提高,并对类似系统的工艺过程自动化设计具有一定的指导借鉴意义.
其他文献
实验研究了涡轮叶片带内肋U形通道在旋转状态下有转角时的前缘、后缘及两侧面局部换热系数分布,以及其和无转角时的比较.实验表明,在旋转状态下,小角度转角的旋转带肋通道的
2011年6月14日,国家统计局公布5月通胀率为5.5%。这是3年来的高点,或许将为更多紧缩措施的出台提供依据。工程机械行业的外部经济环境在持续走低,这是不争的事实。1~5月份国
《卫生经济研究》杂志创刊于1984年,现为北大中文核心期刊,是中国卫生经济学会推荐订阅的全国性卫生经济管理综合类月刊。杂志设有聚焦医改、理论视野、公立医院改革、医院管
火锅纸是与食品直接接触的消费品,目前,我国还没有火锅纸的国家及行业标准。为了保证火锅纸的产品质量及人民健康饮食,建议对该纸的性能参数进行必要的限定,制定国家或行业标
主要介绍了以微生物方法处理造纸工业废水的相关技术。介绍了真菌中的白腐菌作为关键技术的一环对处理工艺的影响和处理效果,以期对废水处理工艺进行改良,减少对环境的污染。