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纳米技术时代 晶圆的设计与加工

来源 :集成电路应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhiyuanfengxiang

【摘 要】

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纳米技术开始从衬底阶段启动。衬底选择将使衬底设计与器件结构之间的界线不复存在。 Nanotechnology began to start from the substrate stage. Substrate selection will

【作 者】

：

Carlos Mazuré André-Jacques Auberton-Hervé Soitec 

【出 处】

：

集成电路应用

【发表日期】

：

2006年05期

【关键词】

：

纳米技术 衬底 晶圆 器件结构 电流驱动 沟道 空穴迁移率 硅膜 器件 绝缘体上硅 

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纳米技术开始从衬底阶段启动。衬底选择将使衬底设计与器件结构之间的界线不复存在。 Nanotechnology began to start from the substrate stage. Substrate selection will eliminate the boundary between the substrate design and the device structure.

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