【摘 要】
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采用具有不同形状特征的Al2O3磨料对CdZnTe晶片进行机械研磨,研究了磨粒形状、粒径对晶片的去除速率、研磨后晶片表面形貌的影响,并讨论了其影响机理。研究表明,多角形不规则
【机 构】
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上海大学材料科学与工程学院,中国科学院红外成像材料与器件重点实验室,中国铝业郑州有色金属研究院有限公司
【基金项目】
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红外成像与器件重点实验室开放基金
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采用具有不同形状特征的Al2O3磨料对CdZnTe晶片进行机械研磨,研究了磨粒形状、粒径对晶片的去除速率、研磨后晶片表面形貌的影响,并讨论了其影响机理。研究表明,多角形不规则磨粒易在晶片表面产生划痕,且易在磨盘与晶片之间发生滚动,导致去除速率下降。板片状磨粒因不易发生滚动,易形成二体磨粒以边缘凿削晶片表面的方式去除。棱角度较高的薄板片状磨粒有利于CZT晶片的机械研磨,且去除速率随粒径增大而增大,但当粒径较大时易形成深凹坑。表面圆润平滑的厚板片状磨粒对去除速率不利。粒径（D50）为3.34μm的薄板片状磨料既能得到较高的去除速率,也能保证研磨后晶片表面波纹度Wa值和凹坑面积占比较低,晶片表面质量好。
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