用符合弹性前冲法测量硅中的氧含量及其分布

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采用27MeV的^12C5^5+作为入射粒子,采用符合弹性前冲方法测量了5.6μm的硅样品中氧的含量及其深度分布。实验结果表明,采用^12C与^16O符合弹性前冲方法分析硅样品中的氧,其最小探测限可达20×10^-6,深度分辨率为-450nm。该方法对于厚样品,尤其比常规弹性前冲优越。
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