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用符合弹性前冲法测量硅中的氧含量及其分布
用符合弹性前冲法测量硅中的氧含量及其分布
来源 :核技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mibaoaiai
【摘 要】
:
采用27MeV的^12C5^5+作为入射粒子,采用符合弹性前冲方法测量了5.6μm的硅样品中氧的含量及其深度分布。实验结果表明,采用^12C与^16O符合弹性前冲方法分析硅样品中的氧,其最小探测限可达20×10^-6,深度分辨率
【作 者】
:
韩建伟
韦伦存
【机 构】
:
北京大学重离子物理研究所
【出 处】
:
核技术
【发表日期】
:
1995年9期
【关键词】
:
弹性前冲法
氧
硅膜
含量
深度分布
Coincidence
ERD
Oxygen
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采用27MeV的^12C5^5+作为入射粒子,采用符合弹性前冲方法测量了5.6μm的硅样品中氧的含量及其深度分布。实验结果表明,采用^12C与^16O符合弹性前冲方法分析硅样品中的氧,其最小探测限可达20×10^-6,深度分辨率为-450nm。该方法对于厚样品,尤其比常规弹性前冲优越。
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