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提出了一种快速推算栅极氧化膜TDDB寿命的新方法．该方法可以用于对工艺的实时监控．通常情况下，为了得到栅极氧化膜在器件使用温度下的TDDB寿命，必须得到三个在一定温度下的不同电压下的TDDB寿命．然后使用一定模型（E模型或者1／E模型）和这个三个寿命推算出氧化膜在器件使用温度下的寿命．比较常用的是E模型．但是为了保证使用E模型推得的寿命的准确性，必须尽量使用较低电压下的寿命来推算想要的寿命．显然，为了获得低电压下的TDDB寿命，必须花费相当长的测试时间（甚至1个月）．这对于工艺的实时监控来说，是不能接受的