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本文介绍一种新的电光补偿自动椭偏仪.详细讨论了它的设计原理,并给出SiO_2膜上的测量结果.这种方法可发展成为自动椭偏谱仪.
光电自动补偿的椭偏仪
【摘 要】
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本文介绍一种新的电光补偿自动椭偏仪.详细讨论了它的设计原理,并给出SiO_2膜上的测量结果.这种方法可发展成为自动椭偏谱仪.
【机 构】
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北京大学物理系
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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1984年4期
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