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求解半导体器件流体力学模型的新方法
求解半导体器件流体力学模型的新方法
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:roytseng
【摘 要】
:
采用样条分步法SADI与高阶紧致差分相结合的方法,计算用于半导体器件模拟的流体力学模型.数值计算表明,相比当前最为流行的两种器件模拟方法CGS及Newton-SOR,这种方法可以降
【作 者】
:
刘战
顾晓峰
于宗光
胡西多
臧佳锋
【机 构】
:
江南大学信息工程学院,中国电子科技集团公司第58研究所,东莞理工学院电子工程系
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
2008年8期
【关键词】
:
SADI
高阶紧致差分
器件模拟
SADI
high-order compact finite difference
device simulation
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采用样条分步法SADI与高阶紧致差分相结合的方法,计算用于半导体器件模拟的流体力学模型.数值计算表明,相比当前最为流行的两种器件模拟方法CGS及Newton-SOR,这种方法可以降低方程的迭代次数约40%,并明显减少方程的求解时间.
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