求解半导体器件流体力学模型的新方法

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:roytseng
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采用样条分步法SADI与高阶紧致差分相结合的方法,计算用于半导体器件模拟的流体力学模型.数值计算表明,相比当前最为流行的两种器件模拟方法CGS及Newton-SOR,这种方法可以降低方程的迭代次数约40%,并明显减少方程的求解时间.
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