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微波电子回旋共振等离子体溅射法沉积ZnO薄膜
微波电子回旋共振等离子体溅射法沉积ZnO薄膜
来源 :武汉化工学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ch32918
【摘 要】
:
ZnO薄膜具有强的压电和光电效应,广泛用于制作各种声电和声光器件中.本文报道了用微波ECR等离子体溅射法沉积了ZnO薄膜,并研究了该法制备ZnO膜的工艺.结果表明,所形成的ZnO膜的性质强烈地依赖于溅
【作 者】
:
汪建华
任兆杏
邬钦崇
【机 构】
:
武汉化工学院,中国科学院等离子体物理研究所
【出 处】
:
武汉化工学院学报
【发表日期】
:
1997年2期
【关键词】
:
氧化锌薄膜
微波ECR
等离子体溅射
沉积
薄膜
ZnO thin film
ECR plasma
Sputter
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ZnO薄膜具有强的压电和光电效应,广泛用于制作各种声电和声光器件中.本文报道了用微波ECR等离子体溅射法沉积了ZnO薄膜,并研究了该法制备ZnO膜的工艺.结果表明,所形成的ZnO膜的性质强烈地依赖于溅射沉积条件.
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