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本文描述了改进型潘宁离子源在活性化学反应机理作用基础上获得难熔金属离子。研究了源结构和引束上活性气体的影响,并获得有关结果。
改进型潘宁离子源获得难溶金属离子的研究
【摘 要】
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本文描述了改进型潘宁离子源在活性化学反应机理作用基础上获得难熔金属离子。研究了源结构和引束上活性气体的影响,并获得有关结果。
【机 构】
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中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所北京100083,北京100083,北京100083
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1991年3期
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