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根据薄板的弹性振动理论和流体动力学理论 ,建立了能完整描述振膜式微机械泵的动态解析模型。导出了吸入过程和排出过程的流量、压力方程。揭示流量、压力等微机械泵性能参数与执行器输出以及负载之间的内在关系。而且在此基础上用有限元分析方法 ,建立了其数值模型 ,并且进行模拟 ,所得结果与实验符合较好。
微型泵的物理模型与动态模拟
【摘 要】
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根据薄板的弹性振动理论和流体动力学理论 ,建立了能完整描述振膜式微机械泵的动态解析模型。导出了吸入过程和排出过程的流量、压力方程。揭示流量、压力等微机械泵性能参数
【机 构】
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东南大学微电子中心!南京; 210096;
【出 处】
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固体电子学研究与进展
【发表日期】
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2000年01期
【基金项目】
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传感技术国家重点实验室与江苏省应用基础研究资助项目!( BJ950 4 3 )
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