溅射功率和气氛对Sialon薄膜，介电性能的影响

来源 :现代显示 | 被引量 : 0次 | 上传用户：shgrx

【摘要】

：

采用射频磁控溅射法分别在Ar／N2和Ar／O3气氛中制备了厚度为80-300nm的Sialon薄膜，研究了沉积功率对Sialon薄膜的介电性能的影响。发现在Ar／N2气氛中沉积的Sialon薄膜具有较高的介

【作者】

：

倪若惠杨新刘红君张羿

【机构】

：

上海交通大学电子信息与电气工程学院,汉高股份有限公司电子技术部,上海广电电子股份有限公司平板显示研究开发中心

【出处】

：

现代显示

【发表日期】

：

2009年4期

【关键词】

：

Sialon薄膜射频磁控溅射介电性能无机电致发光薄膜晶体管 sialon thin film RF magnetron sputtering diele

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

采用射频磁控溅射法分别在Ar／N2和Ar／O3气氛中制备了厚度为80-300nm的Sialon薄膜，研究了沉积功率对Sialon薄膜的介电性能的影响。发现在Ar／N2气氛中沉积的Sialon薄膜具有较高的介电常数，漏电流密度和介电损耗也稍大。在Ar／N2气氛下沉积的SiMon薄膜的介电常数在4．8～8．5之间，反映介电损耗的参数△Vy在0．010-0．045V之间，在50Mv／m直流电场下的正、反向漏电流密度在10^-10-10^-8数量级，击穿场强在201-476MV／m；在Ar／O2气氛下沉积的Sia

其他文献

高原地区急性肺损伤的目标容量压力支持通气的策略

急性肺损伤具有肺泡塌陷、肺顺应性下降、肺内分流增加和低氧血症的病理特点,而高原地区海拔高、气压低、空气稀薄,使肺动脉高压及缺氧进一步加重。因此,高原地区发生急性肺

期刊

高原急性肺损伤机械通气Plateau Acute lung injury Mechanical ventilation

儿科住院患者抗菌药物使用情况分析

目的了解我院儿科住院患者抗菌药物使用情况,评价其使用合理性。方法随机抽取我院2009年1月至2010年6月儿科出院病历180份,对抗菌药物使用情况进行统计分析。结果 180份病历

期刊

儿童抗菌药物联合用药合理用药Children Antibiotics Combination use Rational drug use

我国水泥新标准对水泥产品质量和生产工艺的影响

阐述了我国水泥标准制定修订的主要内容,ISO强度与GB强度的关系以及新标准对我国水泥产品质量和生产工艺(包括强化烧成、掺加混合材、粉磨工艺等)的影响.

期刊