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多晶硅还原炉是两门子法生产多晶硅的主要设备，由于进气管、出气管和电极座等部件都布置在封头处．导致封头温度分布不均匀，引起很大的温差应力．闪此还原炉封头处存在很大的结构安全隐患。本文利用ANSYS，采用APDL语言，建立了某大型多晶硅还原炉夹套式封头1／4有限元模型。考虑到材料的非线性特性，对夹套式封头结构进行了仿真计算，给出了整体结构、上下花板和电极座温度分布云图．进而得出其应力分布变化规律，为多晶硅还原炉设计提供参考依据。