非晶硅薄膜晶体管及其应用的最新进展

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简要述评了非晶硅薄膜晶体管(简称a-Si TFT)的结构、工艺和应用。a-Si TFT最有前途的应用是作为平板型液晶显示器(LCD)的驱动元件。a-Si TFT-LCD具有易于薄型化和小型化、驱动电压低、功耗小、成本较低等优点,预计在90年代将逐渐成为最占优势的彩色显示技术。
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