【摘 要】
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采用表面修饰技术,利用气敏元件表面覆膜方法,得到高选择性SnO2半导体NH3敏感元件,并对元件的特性和机理进行了分析。
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采用表面修饰技术,利用气敏元件表面覆膜方法,得到高选择性SnO2半导体NH3敏感元件,并对元件的特性和机理进行了分析。
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