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本文以横向错位干涉原理为基础，对相位物体测试系统进行了设计与误差分析，并给出了应用了该测量系统测试的实验结果。
相位物体测试系统的设计与误差分析
【摘 要】
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本文以横向错位干涉原理为基础，对相位物体测试系统进行了设计与误差分析，并给出了应用了该测量系统测试的实验结果。
【机 构】
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山东工程学院
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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1999年6期
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