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介绍了在激光直写系统中用于光功率控制的声光调制器，并根据光强稳定度要求分析了出了调制器的在数和相关的控制电路。按控制原理及调制器参数设计实现的声光调制系统获得了好的光强控制效果。
声光调制器在激光直写系统光功率控制技术中的应用
【摘 要】
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介绍了在激光直写系统中用于光功率控制的声光调制器，并根据光强稳定度要求分析了出了调制器的在数和相关的控制电路。按控制原理及调制器参数设计实现的声光调制系统获得了好
【机 构】
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浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
【出 处】
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浙江大学学报(工学版)
【发表日期】
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2000年3期
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