【摘 要】
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为了实现掩膜面的均匀照明,采用非球面技术对浸没式光刻照明系统中会聚镜进行了设计,并对影响系统远心度的误差源进行了分析。设计的会聚镜数值孔径的一致性偏差在0.2%以内,
【机 构】
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吉林工程技术师范学院量子信息技术交叉学科研究院,吉林省量子信息技术工程实验室,长春理工大学
【基金项目】
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国家自然科学基金青年基金(61703056),吉林省教育厅科学研究项目(JJKH20181363KJ),吉林工程技术师范学院博士科研启动基金项目(BSKJ201826).
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为了实现掩膜面的均匀照明,采用非球面技术对浸没式光刻照明系统中会聚镜进行了设计,并对影响系统远心度的误差源进行了分析。设计的会聚镜数值孔径的一致性偏差在0.2%以内,像方远心度小于0.2mrad,以系统的远心度变化0.1mrad,数值孔径一致性变化0.1%,点列图变化20μm,焦距变化0.1mm为公差基础值,计算出会聚镜的厚度公差为±0.02mm~±0.05mm,单面倾斜10″~20″。该浸没式光刻照明系统中会聚镜的设计合理,制定的公差可行,能够满足硅片面上照明非均匀性小于3%的要求。
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