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采用特定的催化剂,在反歧化精馏装置上由二氯二氢硅制备三氯氢硅。研究了物料配比、温度、压力、回流量等因素对二氯二氢硅转化率的影响。结果表明,当二氯二氢硅进料量为800 kg/h时,反歧化工艺操作的最佳工艺参数为:四氯化硅与二氯二氢硅的量之比为2∶1、塔釜温度90.5℃、反应床层温度78℃、塔顶温度48.5℃、塔顶压力为(85±0.5)k Pa、回流量为7 000 kg/h;此时,二氯二氢硅转化率可达95.4%。