2. 您的位置
3. 首页
4. 期刊论文
5. 不同浓度的Mg掺杂β-Ga2O3薄膜的制备与研究

不同浓度的Mg掺杂β-Ga2O3薄膜的制备与研究

来源 :真空 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lianjinshi

【摘 要】

：

本文采用射频磁控溅射方法在石英和高阻硅衬底上制备纯茁-Ga₂O₃薄膜和不同掺杂浓度的Mg掺杂茁-Ga₂O₃薄膜,研究了薄膜的结构、光学和电学性质。X射线衍射测试结果表明,在我们的掺杂浓度内,Mg掺杂茁-Ga₂O₃薄膜没有出现其他晶相的衍射峰,随着Mg掺杂浓度变大,薄膜的(401)和(601)衍射峰强度变弱。使用X射线光电子能谱测试薄膜中各元素的结合能和化学态。紫外-可见透射光

【作 者】

：

杨子淑 段苹 邓金祥 张晓霞 张杰 杨倩倩 

【机 构】

：

北京工业大学理学部

【出 处】

：

真空

【发表日期】

：

2021年3期

【关键词】

：

射频磁控溅射 Mg掺杂β-Ga_(2)O_(3)薄膜 带隙宽度 P型掺杂 

【基金项目】

：

北京市自然科学基金(No.4192016)资助。

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文 赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

本文采用射频磁控溅射方法在石英和高阻硅衬底上制备纯茁-Ga₂O₃薄膜和不同掺杂浓度的Mg掺杂茁-Ga₂O₃薄膜,研究了薄膜的结构、光学和电学性质。X射线衍射测试结果表明,在我们的掺杂浓度内,Mg掺杂茁-Ga₂O₃薄膜没有出现其他晶相的衍射峰,随着Mg掺杂浓度变大,薄膜的(401)和(601)衍射峰强度变弱。使用X射线光电子能谱测试薄膜中各元素的结合能和化学态。紫外-可见透射光

其他文献

浅谈“湛江广电网络电视专区”平台r——湛江智慧广电的探索和建设

湛江广电网络电视专区是湛江广电全新搭建的能同步覆盖电视大屏、手机小屏,权威发布湛江市本地政务、信息服务,拥有云服务、平安监控、视频会议、扫码订购、大数据分析等跨资

期刊

智慧广电电视专区公共服务传播分发大数据信息化发展

关于建筑物防水材料的思考

建筑物的外窗、地下室、屋顶、厨卫管根等部位,往往容易发生渗漏,造成室内装饰发霉变黑、地下室渗漏积水、屋顶漏水等现象,极大地影响了居住环境及建筑的使用寿命,给用户带来

期刊

渗漏防治氯丁乳胶聚脲CPS反应粘

城市滨水空间设计的适老化研究r——以信阳市浉河滨水空间为例

城市滨水空间具有良好的景观价值,是城市活力的重要载体,合理的滨水空间设计为居民户外活动和社会交往提供舒适的公共活动空间,同时,为城市形象塑造发挥重要的作用.然而,传统

期刊

滨水空间适老化人性化安全性地域性

乡村养老设施“规划-策划-建筑”全过程设计方法探索r——以上海市老港镇大河村为老服务公寓为例

自国家乡村振兴战略提出以来,优化利用乡村闲置资源、建设乡村养老设施,成为促进乡村发展、提高乡村居民幸福感的重要工作.随着老龄化时代来临,上海迫切需要应对日益扩大的养

期刊

乡村振兴乡村养老闲置资源利用为老服务公寓全过程设计

低真空管道系统性能室内实验研究

为探索低真空管道系统中特定工况下真空泵设备和管道结构性能,本文在搭建低真空管道系统实验平台的基础上,对真空泵设备性能和管道结构变形规律开展试验研究,得出以下结论:管

期刊

低真空真空泵管道力学性能循环加载

油封式旋片真空泵常见故障分析及处理方法

油封式旋片真空泵有着悠久的历史,已经形成一套完善的生产流程,具有技术成熟,而且高效、可靠、低噪音及易维护等特点,不仅在镀膜、包装、吸持、制冷、冰箱、空调、照明、彩管

期刊

油封式旋片泵故障维修真空泵真空系统