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文章以扫描电镜(SEM)在TFT-LCD中的应用为题,介绍了扫描电镜的原理、构造,并通过实验数据分析对TFT-LCD生产中相关缺陷的产生原因进行调查。
扫描电镜的原理及TFT-LCD生产中的应用
【摘 要】
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文章以扫描电镜(SEM)在TFT-LCD中的应用为题,介绍了扫描电镜的原理、构造,并通过实验数据分析对TFT-LCD生产中相关缺陷的产生原因进行调查。
【机 构】
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上海交通大学电子信息与电气工程学院
【出 处】
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现代显示
【发表日期】
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2010年01期
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