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以硅纳米孔阵列（S i-NPA）为衬底,采用化学气相沉积法分别制备了S iC纳米颗粒/S i-NPA（nc-S iC/S i-NPA）和S iC纳米线/S i-NPA（nw-S iC/S i-NPA）复合体系,并对其表面成分和形貌、室温湿敏性能进行了表征。实验结果表明,nc-S iC/S i-NPA和nw-S iC/S i-NPA均对水蒸气表现出灵敏的电容响应。当环境相对湿度从11%增加到95%,在100 Hz的测试频率下nc-S iC/S i-NPA的电容增加了750%,而nw-S iC/S i-NPA