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回波处理是提高太赫兹时域光谱系统频谱分辨率的重要方法．为了研究样品存在非线性吸收情况下的回波滤除方法，在解卷积算法的基础上考虑介质对太赫兹脉冲的吸收情况和群延迟效应，将已有算法所需的四个参数缩减为与样品种类、厚度无关的两个参数，进一步提高了太赫兹光谱恢复的准确度．经实验验证，该方法可有效滤除太赫兹时域光谱系统中的GaAs天线基底以及ZnTe探测晶体产生的回波，将时间窗宽度增加一倍，使系统频谱分辨率提高到20GHz．