【摘 要】
：
基于表面传导电子发射源制备技术制备了一种平面底栅型真空场发射三极管(VFET),器件在真空中实现了良好的栅控特性和场发射特性,并初步获得了在大气环境中的电学性能.采用不
【机 构】
：
西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室 西安710049
论文部分内容阅读
基于表面传导电子发射源制备技术制备了一种平面底栅型真空场发射三极管(VFET),器件在真空中实现了良好的栅控特性和场发射特性,并初步获得了在大气环境中的电学性能.采用不同厚度的氧化钯(PdO)作为导电薄膜,通过电形成工艺使导电薄膜龟裂制备真空沟道,研究分析了导电薄膜厚度对真空沟道形成、真空及大气环境下器件电子发射性能的影响.结果 表明,PdO薄膜过薄会因其电阻较大而无法聚集足够的焦耳热使薄膜龟裂形成真空沟道,过厚则不能使薄膜完全断裂形成真空沟道;在保证可形成真空沟道的情况下,选择更薄的PdO薄膜有利于降低电形成电压并获得更窄的真空沟道;当PdO厚度为60 nm时,可通过更低的电形成电压获得更窄的真空沟道,使器件拥有更好的电学性能.
其他文献
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
褪去城市的繁华与喧嚣，漫步在宁静而又悠远的古镇古村。小桥、流水、人家，这种别样的情调与氛围，透露着悠悠岁月的沉淀，格外让人沉迷。今天随着记者走进丁李湾村，踏着古朴的石板路
装备物流的能力和水平,已经成为决定战争进程和结果的关键性制约因素。以武器装备保障为基础构建符合我国国情、具有我军特色的装备物流研究仍处于孕育阶段。从我军装备保障
介绍晨呜纸业近年来在实施林浆纸一体化、废弃物资源化以及提高治污能力等方面的实践经验和取得的成果。
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
针对广西自治区生态保护的现状与问题,分析了造成生态破坏的主要原因,提出了加强生态保护的对策与措施。
In view of the current situation and problems of ecological pr
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
为探讨镉(Cd)对杂交小麦必需矿质营养元素吸收及光合作用的影响,利用Hoagland营养液添加和不添加CdCl2·2.5H2O的培养方法,对BNS型小麦杂交F1及其父本矮05、母本BNS366中的Ca
根据未来高技术战争和信息技术的发展趋势,提出了建设“E体化”军事物流的宏观战略构想,论述了“E体化”军事物流的理论内涵和现实意义,明确提出了“E体化”军事物流的战略目
本刊讯晨鸣集团白卡纸工厂积极调整产品结构,大力开发新产品,成功生产出食品卡纸和液体包装原纸,并通过专业认证,获得QS生产许可证。2012年以来,该工厂从技术工艺、原辅材料