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真空场发射三极管相关论文
纳米沟道真空场发射三极管的制备及其特性研究
基于表面传导电子发射源制备技术制备了一种平面底栅型真空场发射三极管(VFET),器件在真空中实现了良好的栅控特性和场发射特性,并......
期刊
真空场发射三极管
导电薄膜厚度
真空沟道
场发射特性
栅控特性
平面底栅型真空场发射三极管
真空场发射三极管(VFET)是一种真空微电子器件,采用纳米缝隙真空沟道实现电子的传输,兼具真空管和半导体晶体管的优点。本文介绍了国......
期刊
真空场发射三极管
平面底栅结构
电子发射特性
栅极调控机理
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