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驱动电压过高是MEMS微镜需要解决的重点问题.根据平板静电驱动器原理,设计了一种新型三层电极平板结构的静电驱动MEMS微镜,分析了此微镜系统的静态特性和动态特性.此微镜系统的设计驱动电压为6.3 V,动态响应时间达到1.2ms.
三层平板静电驱动MEMS微镜
【摘 要】
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驱动电压过高是MEMS微镜需要解决的重点问题.根据平板静电驱动器原理,设计了一种新型三层电极平板结构的静电驱动MEMS微镜,分析了此微镜系统的静态特性和动态特性.此微镜系统
【机 构】
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北京邮电大学
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2005年12期
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