【摘 要】
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单片集成光电子器件是采用光电子集成(OEIC)技术,将集成光路与集成电路融合为一体的一种器件,以完成发射、接收等特定的电路功能.本文着重于1.0~1.6μm波长范围的单片集成先电
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单片集成光电子器件是采用光电子集成(OEIC)技术,将集成光路与集成电路融合为一体的一种器件,以完成发射、接收等特定的电路功能.本文着重于1.0~1.6μm波长范围的单片集成先电子器件,简要介绍目前正在广泛研究的OEIC的结构类型及其性能水平,讨论有关的材料生长技术和某些关键的工艺技术问题.
Monolithic integrated optoelectronic devices using optoelectronic integrated (OEIC) technology, integrated optical integrated circuits and integrated circuits as a device to complete the launch, receive and other specific circuit functions.This paper focuses on the single wavelength range of 1.0 ~ 1.6μm The first piece of integrated electronic devices, a brief overview of OEIC is currently extensively studied the type of structure and performance level, discuss the relevant material growth techniques and some of the key technology issues.
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