射频磁控溅射制备高In组分Al1-xInxN薄膜及其光学性能

来源 :硅酸盐学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ytrewq123456

【摘要】

：

采用射频磁控溅射法,在硅和石英衬底上生长了高In组分Al1-xInxN薄膜.利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和紫外-可见-红外分光光度计分别对Al1-xInxN薄膜的结构、形貌和光学带隙进行表征,并在室温下测量Al1-xInxN薄膜的光致发光(PL)谱.结果表明:Al1-xInxN薄膜均呈(002)择优取向,具有单相纤锌矿结构,In组分为x=0.64-0.76.随着In组分升高,薄膜表面更加光滑,光学带隙值由1.93 eV红移至1.87 eV.In组分x=0.64,薄膜以本征发光为主

【作者】

：

陈建金齐东丽刘俊李想宋健宇沈龙海

【机构】

：

沈阳理工大学理学院,沈阳110159

【出处】

：

硅酸盐学报

【发表日期】

：

2021年9期

【关键词】

：

铝铟氮薄膜择优取向光致发光 Burstein-Moss效应

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