MEMS技术在微型电磁继电器应用中的探讨

来源 :机电元件 | 被引量 : 0次 | 上传用户：LuYang

【摘要】

：

基于微机电系统(MEMS)技术研制的微型继电器具有体积小、功耗低、开关迅速、稳定性高等优势,将有效弥补传统电磁继电器和固态继电器之间的不足.以一种微机械电磁继电器为例,

【作者】

：

任万滨翟国富李德胜肖伟耀

【机构】

：

哈尔滨工业大学军用电器研究所,北京工业大学机电学院

【出处】

：

机电元件

【发表日期】

：

2004年3期

【关键词】

：

微型电磁继电器微型继电器动作性能固态继电器开关功耗 MEMS技术微机电系统(MEMS) 体积小微机械 MEMSmicro electromagne

【基金项目】

：

国家高技术研究发展计划(863计划)

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基于微机电系统(MEMS)技术研制的微型继电器具有体积小、功耗低、开关迅速、稳定性高等优势,将有效弥补传统电磁继电器和固态继电器之间的不足.以一种微机械电磁继电器为例,介绍了应用MEMS技术的微型电磁继电器的结构特点和工作原理,并分析了影响其动作性能指标的关键参数,最后介绍了MEMS加工制作工艺特点及今后的研究方向.

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