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微区X荧光矿物探针可以客观对矿物进行快速显微定量分析,是地质勘探,环境调查和材料分析领域中一种重要的显微分析仪器。本文简述了微束微区X荧光矿物探针分析仪的结构和组成,选用贝塞尔法和极差法,对微区荧光探针分析仪的A类不确定度评定进行比较。当测量次数少于7次时,使用极差法进行A类不确定度的评定效果更佳。从而完善微束微区X荧光探针分析仪的不确定度的评定。