【摘 要】
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AZ31镁合金表面Zr(Al,Ti)-SiNX复合薄膜的磁控溅射及其耐蚀性能镁合金表面沉积薄膜,可提高其耐蚀性,但现有的几种沉积膜疏松,与基体的结合力差,影响其腐蚀性的提高。为此,采
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AZ31镁合金表面Zr(Al,Ti)-SiNX复合薄膜的磁控溅射及其耐蚀性能镁合金表面沉积薄膜,可提高其耐蚀性,但现有的几种沉积膜疏松,与基体的结合力差,影响其腐蚀性的提高。为此,采用磁控溅射法在AZ31镁合金表面制备了Al,Zr,Ti膜及其与SiNx的复合膜。
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