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基片加热下准分子激光诱导硅掺硼实验研究钱育军，童小梅，潘佰良，汪永江（浙江大学物理系，杭州３１００２７）制作ＰＮ结的传统方法是热扩散及离子注入，但装置复杂，步骤繁复。激光有着能量高度集中的优越性，故可以使半导体表面的极浅层迅速熔化，是一种较理想的材料...
基片加热下准分子激光诱导硅掺硼实验研究
【摘 要】
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基片加热下准分子激光诱导硅掺硼实验研究钱育军，童小梅，潘佰良，汪永江（浙江大学物理系，杭州３１００２７）制作ＰＮ结的传统方法是热扩散及离子注入，但装置复杂，步骤繁复。激光有着能量高度集中的优越
【机 构】
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浙江大学物理系
【出 处】
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量子电子学
【发表日期】
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1994年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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