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本文从集成电路的失效模式、电路特点、老炼设备特点、老炼试验的要求等方面进行深入探讨，分析了如何使老炼试验发挥最大作用并指出了剔除缺陷存在局限性的原因。
CMOS数字集成电路老炼条件的选择
【摘 要】
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本文从集成电路的失效模式、电路特点、老炼设备特点、老炼试验的要求等方面进行深入探讨，分析了如何使老炼试验发挥最大作用并指出了剔除缺陷存在局限性的原因。
【机 构】
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北京微电子技术研究所
【出 处】
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环境技术
【发表日期】
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2004年期
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