【摘 要】
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随着电子技术的飞速发展,集成电路在各个领域的应用日益广泛,同时对集成电路提出了更高的质量要求,元器件失效分析在提高集成电路可靠性方面有着至关重要的作用。随着集成度
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十七研究所,沈阳军区65042部队
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随着电子技术的飞速发展,集成电路在各个领域的应用日益广泛,同时对集成电路提出了更高的质量要求,元器件失效分析在提高集成电路可靠性方面有着至关重要的作用。随着集成度的提高,工艺尺寸的缩小,失效分析所面临的困难也逐步增大。以实际工作为依托,对电子元器件的失效分析技术进行了研究与总结,把失效分析工作主要分成失效现象确认、样品制备和保存、电性分析和物理分析四部分,电性分析是物理分析的前提,物理分析的结果是电性分析的目的和佐证。在失效分析中,各个步骤工作配合应用,缺一不可。
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