基于MEMS电容加速度计的声矢量传感器小型化设计

来源 :中国惯性技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tangtieming1983
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
针对传统压电型声矢量传感器无法兼顾小体积与高灵敏度的问题,利用MEMS电容加速度计作为拾振器,实现矢量传感器的小型化设计。首先采用机电类比分析的方法得到内置加速度计的刚硬球体的声致振动响应;然后进行硅微电容加速度计选型和参数分析、设定,并设计制作了一只二维球形矢量传感器样机;最后对样机进行了参数测试,结果表明两矢量通道均具有良好的方向性,声压灵敏度分别为?185 d B和-186 d B(1 k Hz,0 d B ref 1 V/μPa),通道间相位差与理论值保持一致,验证了利用MEMS电容加速度计设计矢
其他文献
明中晚期,江南文人经济实力的增强和奢侈消费的盛行,使治园消费成为文人士大夫们一个绝佳的"雅"生活方式,以此不但可以生活享受的更好,还可以藉此以区隔社会阶层,维持文人的社
为了高效预测MEMS加速度计的总体寿命特征与个体剩余寿命,提出了一种基于性能退化数据融合的寿命预测方法。将MEMS加速度计的零位电压百分比增量作为性能退化参数,通过逆Gaus
加强对病人的健康教育宣传工作的力度,能够使病人做好自身的用药、休息、饮食等方面的工作,进而在提升医院满意度的同时,助力病人早日康复。本篇文章,主要从加强入院时对病人
为了艺术.也为了体育,亲身参与、感受和欣赏体育运动.用画笔创作出赞美“更高、更快,更强”的体育精神的作品.表现的是一种深深的体育与艺术的情结。
目的对中药调剂新模式在中小规模门诊中药房药物调剂工作中的应用价值进行分析。方法本次选取62例来我院中药房取药的患者进行研究,分为实验组(n=31例)和对照组(n=31例),其中
由江苏省新闻出版局举行的第六届江苏省期刊质量评估分级及优秀期刊评选活动中,我刊“南京艺术学院学报《美术与设计》版”与南京师范大学学报(社会科学版)、苏州大学学报(社会科
【正】吉政发[2012]5号各市(州)人民政府,长白山管委会,各县(市)人民政府,省政府各厅委办、各直属机构:现将《吉林省"十二五"节能减排综合性实施方案》印发给你们,请结合本地
目的对比分析为慢性阑尾炎患者实施腹腔镜切除手术与开腹切除手术的临床效果差异。方法2017年4月~2018年6月,将116例慢性阑尾炎患者随机等分为两组,每组各58例,为参照组行开
结合工程实际应用,充分考虑激光陀螺捷联惯导系统的特性,重点分析了三种与系统动态运动相关的误差,包括尺寸效应误差、圆锥误差以及划船误差。从工程应用的角度出发,分别推导了尺
为提高自主水下航行器的导航精度,比较目前AUV常用的水下导航方式,将捷联式惯性导航系统与地球物理导航系统相结合构成水下无源组合导航系统。采用容错联邦卡尔曼滤波对各子