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利用化学溶液电沉积方法，在阴极和阳极衬底材料上都成功制备出了单相的含氧酸盐硅酸锂（Li2SiO3）薄膜。探讨了该工艺下的实验反应机理。通过X射线衍射技术（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）分别表征研究了不同实验条件下薄膜的晶体结构和表面形貌。研究结果表明，采用化学溶液电沉积法制备的Li2SiO3薄膜具有物相结构单一，表面形貌平整致密的特点。与制备Li2SiO3的传统方法相比，这一技术具有廉价、简单、低温等特点。