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半导体元件清洗技术浅谈
半导体元件清洗技术浅谈
来源 :洗净技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cxwycn
【摘 要】
:
随着社会的进步和科学技术的迅猛发展,对洗净技术的要求也越来越高.清洗方式多种多样,但最主要的是突出在喷射清洗和超声波清洗两大方面,应用于全国各行各业,并且也得到了明
【作 者】
:
朱文平
宫建国
【机 构】
:
深圳市科威信洗净科技有限公司
【出 处】
:
洗净技术
【发表日期】
:
2003年10M期
【关键词】
:
半导体元件
清洗技术
喷射
超声波
工作原理
semiconductor
cleaning
spray
ultrasonic
cleaning mach
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随着社会的进步和科学技术的迅猛发展,对洗净技术的要求也越来越高.清洗方式多种多样,但最主要的是突出在喷射清洗和超声波清洗两大方面,应用于全国各行各业,并且也得到了明显进步.
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