【摘 要】
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基于纳秒高功率激光辐照高原子序数靶材产生的等离子体M壳层X射线辐射，利用椭圆柱面晶体谱仪进行薄膜单晶si样品的K边x射线吸收近边结构谱（xANES）静态实验研究；通过详细介绍实验
【基金项目】
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中国工程物理研究院科学技术发展基金(2014A0101001),中国工程物理研究院规划发展项目(TCGH012404);科学挑战专题项目(TZ2016001)
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基于纳秒高功率激光辐照高原子序数靶材产生的等离子体M壳层X射线辐射，利用椭圆柱面晶体谱仪进行薄膜单晶si样品的K边x射线吸收近边结构谱（xANES）静态实验研究；通过详细介绍实验方案，分析椭圆柱面晶体谱仪的原理，得到谱仪的位置-能量色散关系，并对Au、Lu、Yb、Dy、Ta、Co这6种靶材产生的等离子体x射线光谱进行比较。结果表明：通过比较这6种靶材产生的等离子体X射线光谱后发现，在Si的K边（1839eV）附近，Lu、Yb、Dy靶材的激光等离子体M壳层辐射相对其他几种靶材具有较高的光谱亮度，对应的XAN
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