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"材料基因组计划"旨在缩短材料的研发周期,作为材料研发中不可或缺的实验环节,各种高通量合成和快速表征技术的发展也越来越受到重视.近场微波显微镜因具有微区扫描快速表征的能力,适用于组合材料的微波特性快速表征.本文针对超导材料的一些重要物理参量,分析了近场微波显微镜对高通量薄膜快速表征的个别案例.并以衰逝微波探针显微镜为例,介绍了该类仪器的构成、测量原理和数据分析方法,简要探讨了其应用于超导机理和电子学器件研究的前景.